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曲卓入行时,正是步进式投影光刻机发展的顶峰时期。
即便后来浸润式光刻机出来了,国内在很长时间里,依旧以干式机为主。
那段时间里,国内就是个破烂王国,佳能的Ex3L和5L、尼康的NSR-1010G,ASmL的FpA2500,SVGL的micrascan I,甚至GcA在78年推出的,当时来说已经老掉牙的第一代Stepper都能见到。
接触的多了,曲卓对关联的技术、结构和工艺什么的了解的很详细。
剔除掉其他工艺和流程,只说光刻机本身,作为光源的氟化氪和氟化氩准分子激光……暂时就甭惦记,离得稍微有点远。
眼下国内虽然可以自产高压汞灯,但稳定性和寿命远不达标。
450nm以上的稳定光源,曲卓有“收录”。但只能“买”出成品,没有生产工艺和设备,对应的光刻胶也一样。
至于I线和G线,好像是80年后汉斯先搞出来的。
镜头模组……已经收录到了紫外高透玻璃,抛光、镀膜、校准,对于脑子里的“系统”来说完全没有任何难度。
关键还是老问题,拿不出专用的高精度铣床。别说铣床了,小磨头都不知道去哪“收录”。
至于进一步提升精度的磁流变抛光、离子束抛光那些……唉~约等于让驾校教练的去教潜水,全是知识盲区,太难为人了。
所以,依旧只能想招给内陆提供成品,却没办法完善产业链上的缺失。
尼康和佳能肯定能“摸”到不少玩意,问题是……想个什么招儿呢?
对于一台光刻机来说,技术难度最高的就是光学及相关部分。其它的……虽然“素材”还欠缺很多,但只搞出个唬人的大框,基本谈不上多大的难度。
只要让英国佬以为,我们在技术层面,甚至是实验室层面的完成度已经足够高了。除了欠缺几项关键技术和工艺,主要缺乏的不过是工业化和体系化生产的能力就行。